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&esp;&esp;令人不敢忽视。
&esp;&esp;张学君也想起了两年多前的那次会面,实在没想到再见面时会是这样的光景。
&esp;&esp;方年目光扫过与会众人:“各位下午好,我是方年,初次见面,请多关照。”
&esp;&esp;“方总好。”
&esp;&esp;“方总太客气了。”
&esp;&esp;“……”
&esp;&esp;简单的寒暄过后,方年直截了当道:“恕我冒昧,为了不耽误大家更多的时间,我就开门见山了。”
&esp;&esp;“庐州前沿正在建设一条12寸晶圆测试线,为了配合这条测试线,梼杌这边将全面进军euv光刻研究,希望大家能给予必要支持。”
&esp;&esp;此话一出,众人皆愣。
&esp;&esp;包括梼杌的王院士。
&esp;&esp;“euv?”张学君挑了下眉,斟酌着说道,“方总,冒昧问一句,你好像对极紫外情有独钟?”
&esp;&esp;“理论上只有最尖端光刻需要用到极紫外光刻,duv(深紫外)借住浸入式方案理论上可以做到7n光刻,似乎没必要全面进军euv?”
&esp;&esp;“……”
&esp;&esp;在座众人都是懂行人士,纷纷发表了各自的看法。
&esp;&esp;比如duv技术积累等等问题。
&esp;&esp;毕竟梼杌实验室名字里的‘半导体设备’五个字有85是针对:
&esp;&esp;集成电路前道制造光刻机。
&esp;&esp;光刻机其实是个泛称,内里可细分为前道制造、后道封装、应用于tft(薄膜晶体管)的光刻、应用于中小基底先进光刻等的光刻机。
&esp;&esp;一般大众认知范围内的光刻机是集成电路前道制造光刻机……
&esp;&esp;听着大家的不同意见,方年微微一笑:“duv不是有各位在努力吗?”
&esp;&esp;“前沿不能白叫前沿这个名字,而且euv这个领域基本上属于赢家通吃,很符合前沿的目标。”
&esp;&esp;王院士立马道:“可是asl的euv实验机去年就运到了台积电使用。”
&esp;&esp;“……”
&esp;&esp;“这个领域需要很庞大的投入。”
&esp;&esp;“……”
&esp;&esp;方年当然知道。
&esp;&esp;他更清楚的是,全球范围内euv光刻机的差距其实不太大。
&esp;&esp;要么就是没想过,要么就是放弃了。
&esp;&esp;唯一一家至死不渝坚持到底的是asl。
&esp;&esp;有意思的是,最终水准其实取决于砸钱程度以及对技术整合的程度。
&esp;&esp;当然,asl快得很,06年开始投入,去年推出了首台euv工程原型机,而且还有台积电这个大客户在使用、验证、反馈。
&esp;&esp;但……
&esp;&esp;asl很缺钱,方年曾看过的所有与asl有关的媒体报道都提到了asl在2012年7月份发起的客户联合投资计划。
&esp;&esp;这份计划募集了超过50亿欧元的资金,其中一半用于euv光刻研发。
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